新型双模热感微流量传感器的研究

摘要：

微流量传感器是有着功耗低、响应快、精度高等优点,在汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊断等多个领域有广泛的应用.量热微流量传感器是通过测量加热器上下游温差来确定流速的,然而当流速超过一定范围后温差响应将不会随流速的增大,限制了流量传感器的量程.本文首先数值模拟了在大流率跨度下(0～ 160 SCCM)下温差对流速的响应,发现当扩散作用占主导时温差对流速的响应几乎是线性的;随着流速的增大,温差的响应逐渐降低,呈非线性;当流速进一步增加时温差的响应趋于饱和,量热工作模式失灵.然后,在数值模拟基础上提出了在大流速下采用热线工作模式,而中小流速下依然采用量热模式的双模式微热流量传感器.最后,采用0.18 μm CMOS-MEMS的工艺制作了微传感器,并以灵敏度为准则划定了工作模式的切换阈值,与标准流量计比较后发现误差在2％之内,符合实际应用要求,但量程扩大了一倍.

关键词：热感式;微流量传感器;双模;量热模式;热线模式

所属期刊栏目：42

分类号：TH7;TH814(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金11572107

在线出版日期：2021-12-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：73-80