光纤束并行彩色共聚焦测量系统及实验研究

摘要：

彩色共聚焦技术无需轴向扫描,测量速度快、测量精度高,具有良好的轴向层析能力和轴向分辨能力,在智能制造、生物医学等领域应用广泛.但目前的彩色共聚焦技术多为单点测量,所需横向扫描耗时长,不能满足快速测量的应用需求.本文在单点彩色共聚焦实验平台的基础上,利用光纤束作为光分束器件实现并行色散.同时,利用面阵彩色相机作为光电接收器件,结合颜色转换算法实现“H值-高度”转换.先以自制台阶作为测量对象,确定测量装置的测量范围及精度;再以硬币表面“E”字为测量对象,通过线扫描的方式还原了硬币表面的三维形貌.实验结果表明,该系统的轴向测量范围约80 μm,轴向测量精度可达到微米级,系统具有良好的三维重构能力.

关键词：彩色共聚焦、光纤束、彩色相机、并行测量、三维重构

所属期刊栏目：41

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;福建省杰青基金;福建省科技计划;华侨大学中青年教师科研提升项目

在线出版日期：2021-05-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：23-31