激光跟踪仪多参数误差模型与标定

摘要：

针对激光跟踪仪在加工、装调、运输、使用过程中产生的误差与状态变动等问题,从系统的机械和光路理想结构出发,分析机械轴系安装误差、光学准直误差、转镜安装误差、编码器偏心等系列误差的形成机理,建立包含主要19项光机误差的运动学模型.研究系统综合误差模型的标定方法,提出一套现场标定方案和数值优化求解方法,实现对系统综合误差的一次性精确标定及补偿,提高模型参数的标定精度以及工业现场的标定效率.试验及应用表明,采用该误差模型优化方法,测量标准圆轨迹发生器的半径标准差可达8 μm,圆平面的平面度标准差0. 036 μm,基于ASME B89.4. 19双面测试的空间坐标测量误差能够减少到10×10-6以内.

关键词：激光跟踪仪、跟踪反射镜、误差模型、圆轨迹发生器、数值优化

所属期刊栏目：41

分类号：TH744;TP391.4(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划项目2019YFB2006100

在线出版日期：2021-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：20-30