高性能薄膜热电偶制备及其铣削应用研究

摘要：

随着纳米薄膜沉积技术的发展,基于薄膜热电偶的瞬态温度测量技术在多种场合得到广泛应用.为实现薄膜热电偶在铣削加工中的应用,提出了一种高性能薄膜热电偶的制备方法.通过直流脉冲磁控溅射技术在石英基底上制备了NiCr/NiSi薄膜热电偶,并于氩气气氛进行不同温度的退火,研究了退火对薄膜热电偶综合性能的影响.结果 表明,500℃退火的功能薄膜均匀性、导电性均有显著的提高,薄膜热电偶的塞贝克系数由退火前的36.3μV/℃增大到最大值40.5 μV/℃,在连续热冲击和高温保持6h后测温性能仍保持良好.将高性能薄膜热电偶研究成果用于测温铣刀的研制,并用于TC4正交铣削,得到了TC4铣削温度预测公式,为旋转类刀具加工温度的测量提供了一种可行性方案.

关键词：薄膜热电偶、高性能、瞬态温度、铣削、退火

所属期刊栏目：41

分类号：TH811

资助基金：国家自然科学基金;辽宁省博士科研启动基金计划

在线出版日期：2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：32-40