基于面板工艺的数字微流控芯片

摘要：

针对传统数字微流控芯片电极数量少和制造成本高的问题,对基于面板工艺的数字微流控芯片进行了设计、制备和验证.引入现有成熟的液晶面板设计与制造技术,在玻璃基板上完成金属、绝缘层、有机膜、ITO等膜层的图形化加工.结合常规半导体旋涂工艺,完成疏水层的制备.实验成功地制备出一种集成有480个电极的单基板数字微流控芯片样品.通过合理的驱动电极排布与驱动信号时序设计,实现了低成本化的微流控芯片的设计与制造.对于所设计的微流控芯片进行了功能验证,实现了液滴的连续移动,最低驱动电压可达到25 V,可驱动液滴的体积范围为8～50 μ.L.还通过系统化的实验对芯片的有效工作条件进行了验证.

关键词：数字微流控、电极设计、面板制造、液滴驱动

所属期刊栏目：41

分类号：TN492;TH79(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：159-166