径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统研制

摘要：

针对共焦拉曼系统空间分辨力提升的迫切需求,研制了一套径向偏振光瞳滤波共焦拉曼光谱显微系统(RPCRS).该系统利用径向偏振光发生器(S波片)将激光器发出的线偏振光转换为径向偏振光;然后,利用光瞳滤波器对径向偏振光进行调制,从而压缩拉曼激发光斑;最后,利用共焦针孔消除焦点外位置的拉曼散射光,进一步提升共焦拉曼显微系统的空间分辨力.该系统具有较高的空间分辨力和横向灵敏度.以周期性刻线和标准台阶作为测试样品进行实验,实验结果表明,RPCRS的空间分辨力可以达到240 nm,横向灵敏度相比普通拉曼共焦系统提升了46.5％,测量标准不确定度为18.87 nm.该系统可用于高空间分辨共焦拉曼成像.

关键词：径向偏振、光瞳滤波、共焦拉曼、空间分辨力

所属期刊栏目：41

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划课题;国家自然科学基金

在线出版日期：2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：63-69