无需精确调整被测镜的平面面形检测新方法

摘要：

现有的面形绝对检测法为了保证检测精度,在测量过程中需要耗费大量时间对被测镜进行精密的姿态调整.针对上述问题,提出了一种无需精密调整被测镜姿态的两平面面形检测方法.该方法需被测镜在3个位置进行测量:初始位置、旋转未知角度后的位置、横向平移未知距离后的位置.通过特征匹配求解被测镜实际旋转角度和平移量,通过迭代算法和拟合Zernike多项式恢复被测镜面形,并对被测镜面形中损失的角频率项进行补偿.该方法在保证精度的同时,避免了被测镜的精密调整,缩短了测量时间.实验表明,该方法与Vannoni的方法相比,二者检测结果的残差均方根(RMS)值为0.004λ,测量中被测镜调整过程快速简单连贯,为光学元件的而形检测提供了一种新的技术途径.

关键词：面形检测、旋转平移、特征匹配、迭代、Zernike多项式

所属期刊栏目：40

分类号：TH744(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划2017YFA0701203;北京理工大学创新人才科技资助专项2019CX01020

在线出版日期：2019-09-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：43-50