C/SiC复合材料表面高温瞬态温度传感器的研究

摘要：

针对C/SiC复合材料制造的航空发动机热端部件瞬时表面温度监测困难的问题,研究了一种C/SiC复合材料瞬时表面温度测量方法.采用磁控溅射法结合电镀工艺在C/SiC复合材料表面沉积了Ni-Cr-ZrO2复合过渡层,采用磁控溅射法在Ni-Cr-ZrO2复合过渡层上依次制备了SiO2绝缘膜、NiCr/NiSi薄膜热电偶和SiO2保护膜.对不同厚度SiO2绝缘膜的绝缘性能进行研究,结果表明3μm厚的SiO2薄膜绝缘电阻值可达1.64x109 Ω.对传感器静态性能的实验研究结果表明,在50～600℃,塞贝克系数为42.1 μV、C,非线性误差1.52％.用理论计算与实验结合的方式对传感器的动态性能进行了研究,结果表明,传感器的动态响应时间在微秒级,可实现瞬态温度测试.对传感器进行测温实验,结果表明传感器能满足室温～600℃范围内瞬态温度检测的需求.

关键词：瞬态温度、金属过渡层、薄膜热电偶、动态性能

所属期刊栏目：40

分类号：TH811

资助基金：国家自然科学基金51575074

在线出版日期：2019-06-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：163-171