压电驱动串级菱形位移放大微定位平台的设计

摘要：

针对二维微定位平台普遍具有体积大、行程小的问题, 提出一种串级菱形位移放大机构, 设计了嵌套式压电驱动二维微定位平台.根据平台运动原理建立了平台的力学模型并进行放大比分析;对平台进行静态特性分析, 研究平台所受驱动力与输出位移的关系并进行理论与仿真对比, 测试平台的输出位移特性;对平台进行动态特性分析, 建立平台的动力学模型, 研究平台闭环阶跃响应进行仿真与实验对比;对平台进行闭环最小位移分辨率、重复定位精度和平台运动偏转误差分析.实验结果表明, 该压电驱动串级菱形位移放大微定位平台具有大行程、体积小、精度高的特点.

关键词：微定位平台、串级菱形位移放大机构、大行程、压电驱动

所属期刊栏目：40

分类号：TH112.5

资助基金：国家自然科学基金51105257, 51310105025;辽宁省高等学校创新人才支持计划LR2017036;辽宁省博士启动资金20170520177;辽宁省百千万人才工程 2015-47 项目资助

在线出版日期：2019-05-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：52-61