电容阵列柔性压力传感器设计与分析

摘要：

针对现有的柔性电容式压力传感器精度低、重复性差、大面积应用难度大等缺点,设计了一种柔性电容式压力传感器,可用于生理信息监测或机器人皮肤等领域.该传感器结构基于交叉电极式电容阵列,材料及制备工艺简单,易于大面积扩展应用,可对接触状态进行定量反馈.实验表明,该传感器能够感知0～70 kPa范围的压强,可清晰分辨人手、脚等接触压力信息;电容灵敏度约1.17％ V/kPa;响应速度可达30 f/s,可实现压力信息的实时图形化显示.

关键词：柔性电容式压力传感器、电容阵列、信号处理、压力图形化

所属期刊栏目：39

分类号：TH823;TP212

资助基金：国家重点研发计划2016YFE0128700;河北省自然科学基金E2017202270;河北省教育厅重点项目ZD2018246

在线出版日期：2019-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：49-55