基于图像聚焦定位的AFM自动逼近方法研究
原子力显微镜(AFM)是纳米科学技术领域中的常用工具.AFM扫描成像前需要手动或半自动操作步骤实现探针与样品逼近过程,自动化程度低、操作繁琐,探针容易受损.由此,提出了一种粗精结合的分段式自动定位方法.在粗定位阶段,采用自动聚焦定位方法,提出了一种最强边缘拉普拉斯算子均值算法,具有很强的抗噪性能,可以适应AFM长行程、不同纹理样品自动聚焦,以确定探针和样品的相对位置;精定位阶段,采用精确力反馈控制方法,当样品和探针作用力超过设定值时,探针在Z向纳米平台的带动下能够自动回退,使针尖得到有效保护.通过这两种方法的有效技术融合,可以实现探针-样品逼近过程的自动化操作,提高AFM的易用性和使用效率.
原子力显微镜、自动逼近、自动聚焦、清晰度函数
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TH74(仪器、仪表)
国家自然科学基金面上基金61573341;辽宁省自然科学基金面上项目2015020166;辽宁省自然科学基金面上项目2015020156
2019-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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