用于三维测量的双路点衍射干涉系统

摘要：

针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于三维测量的双路点衍射干涉系统.分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影响,在此基础上确定点衍射源结构以及探头结构布局等最优系统参数.实验结果显示,单路点衍射干涉三维测量系统在xy方向的精度分别为亚微米量级和微米量级,而双路点衍射干涉仪系统可在三维方向上同时达到亚微米量级,验证了所提出的双路点衍射干涉系统方案的可行性和准确性.所提出的双路点衍射干涉系统有效的实现高精度三维测量,为无导轨三维位移和尺寸等测量提供了一种可行方法.

关键词：三维测量、双路点衍射干涉系统、亚微米孔径光纤、精度、点衍射波前

所属期刊栏目：38

分类号：TH741(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金51375467,11404312,51775528,51476154,51404223;浙江省自然科学基金LY15E050014;浙江省“仪器科学与技术”重中之重学科开放基金JL150508

在线出版日期：2018-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：2146-2153