10.3969/j.issn.0254-3087.2016.07.014
NiCr高温薄膜电阻应变计制备及耐高温性能研究
针对高温环境下应力应变测试的技术难题,提出了一种以NiCr薄膜为敏感材料的高温薄膜应变计的制备方法,并对薄膜应变计敏感层的耐高温性能进行研究.研究发现,NiCr薄膜在高温下微观结构、成分发生明显转变,电学性能急剧下降.对添加SiNxOy和ITO薄膜后的NiCr薄膜分别进行高温测试发现,NiCr薄膜结构、性能没有明显改变,表明SiNxOy和ITO薄膜保护下的NiCr薄膜高温下性能稳定.所制的高温薄膜应变计在50~ 350℃内电阻温度系数为(80~787)×10-6/K,常温下应变灵敏系数为1.19,机械滞后为5.02,高温下的应变测试性能有待进一步研究.
NiCr高温薄膜电阻应变计、耐高温性能、光刻工艺、电阻温度系数
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TH82
国家自然科学基金51575074
2016-10-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1548-1555