机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计

摘要：

为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器.首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标.然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择.其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能.最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测.结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4",俯仰指向误差不超过3.8",证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求.

关键词：快速反射镜、位移传感器、测量光栅、增量式

所属期刊栏目：36

分类号：TH703(仪器、仪表)

资助基金：吉林省自然科学基金201115123;国家863计划2011AA7031024G

在线出版日期：2015-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1937-1944