大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计

摘要：

针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器.首先,介绍了衍射光栅刻划机,分析了微定位系统及其定位精度指标.然后,运用系统辨识的方法,设计了微定位系统的扫频实验,建立其数学模型.接着,提出了在已有数学模型的基础上,运用实际测量数据和MATLAB/Simulink软件仿真试凑来设计控制器的方法,并设计了满足精度指标要求的控制器.最后,将设计的控制器应用于微定位系统并进行模拟刻划实验,实验结果可知:所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求,其中峰-峰值小于40 nm,RSM值总体略大于2.8 nm.

关键词：微定位系统、控制器设计、数学模型、定位精度

所属期刊栏目：36

分类号：TP273;TH113.2(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科研装备研制项目ZBY2008-1;国家重点基础研究发展计划项目2014CB049500;吉林省科技发展计划项目20140203011GX;长春市科技计划项目Y3B43HU140

在线出版日期：2015-03-31（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：473-480