大光栅刻划机工作台的摆角矫正机构研制

摘要：

大光栅刻划机若存在摆角误差,将直接影响刻划光栅的波前质量.首先,计算得到李特洛设置下的摆角误差与波前质量的映射关系.其次,论述了双压电触动器校正摆角的工作原理,并设计了摆角测量光路,测量在该结构下工作台的摆角校正能力.最后基于以上结构对工作台进行刻划实验.结果表明在具有400 ×500光栅刻划能力的刻划机上,采用双压电触动器校正工作台摆角误差,能够满足±5 μm行程范围内±2″校正范围的要求;实验表明摆角误差校正后工作台的偏转角度由0.42″降低至0.02″,校正后的摆角误差相比于校正前降低了95.24％,满足对工作台摆角校正精度的要求,提高了光栅的波前质量.以上实验结果为刻划出高精度大面积光栅提供了基础保障.

关键词：光栅刻划机、刻划光栅、摆角误差、压电触动器

所属期刊栏目：35

分类号：TH113.2

资助基金：国家重点基础研究发展计划973项目2014CB049500;国家重大科研装备研制项目ZDY2008-1;科技部国家重点基础研究发展计划2014CB049500;长春市场科技计划Y3B43HU140

在线出版日期：2014-06-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1065-1071