莫尔条纹法精确控制全息光栅光栅常数的研究

摘要：

为精确控制全息光栅的光栅常数,提高全息光栅的制作精度,提出了莫尔条纹法控制光栅常数的方法,建立光栅常数随莫尔条纹宽度变化的数学模型,分别讨论了不同莫尔条纹宽度对光栅常数的影响.通过检验莫尔条纹宽度,实现对干涉场条纹间距的检验,可以提高全息光栅光栅常数的控制精度.实验结果表明,对于制作3 600 lines/mm全息光栅,其刻线密度控制精度可以达到±0.05 lines/mm.该模型正确反映了光栅常数随莫尔条纹宽度的演化规律,采用基准光栅结合莫尔条纹精确控制全息光栅光栅常数的方法能够满足全息光栅的制作要求,为全息光栅曝光系统的设计提供理论指导和设计方法.

关键词：全息光栅、莫尔条纹、光栅常数、光学调整

所属期刊栏目：34

分类号：TP212.14(自动化技术及设备)

资助基金：国家重大科学仪器设备开发专项资金2011YQ120023;国家重大科研仪器设备研制专项资金61227907

在线出版日期：2014-01-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2867-2873