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10.3969/j.issn.0254-3087.2013.03.031

单光源高精度正交十字形激光标定装置设计

引用
为了满足特殊的标定需求,保证四路正交激光标定线光学一致性,分析了利用单一光源形成四路十字形激光的成形原理,提出了利用柱面镜形成线光源结合分光棱镜多次分光和组合的方法,实现了单光源输出四向正交的激光十字形标定线,设计了实现激光平行光输入的准直物镜,分析了输出的十字形激光特征,采用模块化的设计思想完成了光学元件支撑结构设计和装调,并进行了主要指标的测试.测试表明,四路十字形激光的相互正交精度优于40″,单路激光十字线长度在(50.1 ±0.1)mn范围内,激光十字线的照度均匀,峰值半宽在0.1 ~0.2 mm之间,可以满足高精度的测量及标定要求.

十字形激光、单激光源、正交

34

TH744.5(仪器、仪表)

国家高技术研究发展计划863计划2012AA121505

2013-05-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共7页

691-697

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仪器仪表学报

0254-3087

11-2179/TH

34

2013,34(3)

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