等倾干涉法测量小孔径圆柱形腔特征长度

摘要：

激光等倾干涉法是一种准确度较高的测量Fabry-Perot腔形式圆柱腔长的方法.对于一些需要进行小孔径腔体长度测量的情况,采用等倾干涉法受到腔体孔径、激光发散角、入射角等各种条件的限制.基于激光等倾干涉原理,分析了腔体孔径、激光发散角和倾斜角,聚焦透镜等对等倾干涉测量的影响,并计算分析了图像采集感光芯片最小的感光范围.计算和实验验证结果表明:对于长度分别为65 mm、80 mm、130 mm和160 mm的圆柱共鸣腔,腔体光学孔径最小半径为2.13 mm;激光发散角不应小于0.8°；感光芯片的感光范围应大于5 mm；同时得到了激光倾斜角和发散角的对应关系.该分析为了用于定程圆柱声学共鸣法准确测量Boltzmann常数的需要,同时可以为小孔径Fabry-Perot腔测量提供一些参考.

关键词：计量学、等倾干涉、小孔径腔体、Fabry-Perot腔、精密测长、Boltzmann常数

所属期刊栏目：32

分类号：TB942(计量学)

资助基金：国家十一五支撑计划2006BAF06B03

在线出版日期：2012-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2330-2335