基于数字微镜器件的三维轮廓测量及其性能分析

摘要：

研究提出了一种基于数字微镜器件(digital micromirror device,DMD)的并行三维微-纳米轮廓测量方法.该方法将数字微镜器件与共焦测量方法相结合,用数字微镜器件及其控制器替代了传统共焦测量中的照明针孔和横向扫描机构,充分发挥DMD横向分辨率高,响应速度快,数字化以及便于计算机控制的优点,对传统共焦测量方法进行了结构上的改进,大大提高其扫描速度.一系列实验结果表明,数字微镜器件可以完全替代照明针孔,从而实现对样品表面快速,精确,大范围的三维测量.

关键词：三维测量、数字微镜器件、虚拟针孔

所属期刊栏目：32

分类号：TH742.9(仪器、仪表)

资助基金：中德科学研究中心国际合作研究项目No.GZ404303/2;国家教委博士点基金200802520005;上海市教委重点学科第五期J50505

在线出版日期：2011-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1138-1144