体硅湿法加工中凸角切削现象的分析

摘要：

以硅(100)衬底为基础,详细介绍了一种针对体硅湿法加工中各向异性腐蚀带来的凸角切削现象的理论分析方法,指出了凸角切削现象具有唯一性和方向性的结论.该方法首先对凸角侧边类型进行划分,再利用现有理论资源,对凸角侧边和切削方向在凸角顶点的折算速率进行严格的数学计算和比较,最终确定腐蚀结束后的形变结构.选择了正五边形以及不规则六边形为代表,展示了该方法的实现过程,最后给出的模拟和实验结果都证实了该方法的正确有效.

关键词：凸角切削、理论分析、各向异性湿法腐蚀、实验验证

所属期刊栏目：31

分类号：TN510.10;TN510.30

资助基金：国家863计划2007AA04Z342

在线出版日期：2010-06-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：944-950