一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计

摘要：

以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度,实现二维方向的加速度检测.该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度.建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件ANSYS对敏感弹性元件进行分析.最后对加工出的加速度计进行了相关的测试.测试结果表明:该加速度计水平面内两个方向的灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为0.755 2 mv/g,线性度为0.999 67,Y向灵敏度为0.683 3 mv/g,线性度为0.999 66.

关键词：二维加速度计、压阻效应、MEMS、ANSYS

所属期刊栏目：30

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2009-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1940-1945