束流参数对光学镜面离子束加工去除函数的影响分析

摘要：

在离子束光学镜面修形加工中,束函数的形状和大小决定了加工的修形能力和加工效率.虽然束函数的形状和大小可以通过一组工艺参数进行调节,然而,这组工艺参数对束函数影响的理论计算较为复杂,而且理论计算值与实验值也吻合的通常存在差异.为了找出工艺参数对束函数的影响规律,本文通过实验研究了离子束的几个主要的工艺参数(屏栅电压、屏栅电流、加速栅电压、中和极功率、氩气流量)对束函数的影响规律,建立了光学镜面离子束加工基本工艺参数数据库,为光学镜而离子束修形加工的工艺参数选择提供了指导依据.

关键词：镜面离子束加工、去除函数、束流参数

所属期刊栏目：29

分类号：TH161

在线出版日期：2008-12-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1945-1950