Study on compound ultra-precision alignment technique
precision positioning、measurement system、mathematic model、control system、response time、methods of
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O6(化学)
国家高技术研究发展计划863计划;国家高技术研究发展计划863计划2005AA303610
2007-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1741-1745