机器人化纳米操作系统驱动器驱动与探针定位研究

摘要：

对基于AFM的机器人化纳米操作系统而言,一个关键问题是如何实现纳米操作时探针的高精度驱动与定位.对此,本文基于对压电陶瓷驱动器的迟滞/非线性特性及现有驱动方法的详细分析,提出"基于复现扫描轨迹的驱动方法"来对操作时的驱动器进行驱动;另外,还对管式驱动器弯曲运动所产生的运动学耦合误差、探针悬臂变形所引起的针尖偏移误差进行了定量分析与补偿.采用上述驱动方法及进行误差补偿后,可以大大提高探针的定位精度,从而使纳米操作与装配得以高精度进行.纳米刻画实验验证了该新型驱动方法及误差补偿的有效性.

关键词：驱动器驱动、探针定位、复现扫描轨迹、运动学耦合误差、悬臂变形

所属期刊栏目：28

分类号：TH742;TP24(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金60635040;60575060;60575050;国家高技术研究发展计划863计划2006AA04Z320;辽宁省优秀青年科技人才基金2005220025

在线出版日期：2007-08-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1223-1228