基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究

摘要：

针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析.利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法.实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求.传感器最大量程为10 mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2 μN.

关键词：三维微力传感器、压阻检测技术、有限元分析、标定实验

所属期刊栏目：28

分类号：TP216(自动化技术及设备)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2006AA042256;教育部长江学者和创新团队发展计划

在线出版日期：2007-05-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：692-698