压入测试仪柔度标定方法研究

摘要：

仪器柔度标定和位移校准是压入法测试的一项重要工作,通过对各种标定方法特点的综合比较认为Doerner-Nix法是一种理想的折中方法,结果相对可靠并易于操作.利用该法对微压入测试仪进行了标定,获得的柔度值为0.61×10-6 m/N.仪器校准后得到的Si(100)弹性模量和硬度值与文献值符合较好,而未校准直接获得的2个测试值比校准后分别低21.5%和2.4%.

关键词：压入法、仪器柔度、标定、MEMS、力学性能

所属期刊栏目：28

分类号：TH879

资助基金：国家自然科学基金50405030;国家自然科学基金50535030;国家重点基础研究发展计划973计划2004CB619302

在线出版日期：2007-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：85-89