压电微音叉扫描探针显微镜测头研究

摘要：

压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测.利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头.该新型测头与X-Y压电工作台结合,采用与TM-AFM相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜.介绍了压电微音叉扫描测头的构成、工作原理及主要特性,给出了所构成的扫描探针显微镜测量系统.通过实验及其结果,证明了新型测头具有高垂直分辨率、低破坏力等优点.除此之外,由于采用了有效长度大的钨探针,使大台阶微观表面的测量成为可能.

关键词：压电微音叉、扫描探针、扫描探针显微镜

所属期刊栏目：28

分类号：TH71;TH89(仪器、仪表)

资助基金：安徽省高等学校重点实验室基金

在线出版日期：2007-03-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：74-79