MEMS音叉式振动陀螺仪的动态特性研究

摘要：

MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度.本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法.

关键词：硅微陀螺仪、音叉式振动陀螺仪、动态特性、误差分析及补偿方法

所属期刊栏目：27

分类号：V2(航空)

资助基金：国家自然科学基金50475155

在线出版日期：2006-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1658-1660