10.3321/j.issn:0254-3087.2006.z2.252
硅PN结基底TiO2氧传感器的特性研究
采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法.利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构.基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点.
薄膜、PN结、射频磁控溅射、氧传感器、金红石相
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TP2(自动化技术及设备)
黑龙江省教育厅科学技术研究项目10531129
2006-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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