硅PN结基底TiO2氧传感器的特性研究

摘要：

采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器,阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法.利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构.基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性,具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点.

关键词：薄膜、PN结、射频磁控溅射、氧传感器、金红石相

所属期刊栏目：27

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：黑龙江省教育厅科学技术研究项目10531129

在线出版日期：2006-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1625-1626