10.3321/j.issn:0254-3087.2006.z2.245
酞菁铅薄膜气体传感器的研制及其特性研究
采用MEMS技术研制了一种以材料硅为基底,具有立体结构的酞菁铅(PbPc)薄膜气体传感器.阐述了该传感器的工作原理、结构设计及工艺流程,给出了酞菁铅薄膜的制备方法,并对PdPc薄膜气体传感器进行了敏感特性研究.
酞菁铅、薄膜、气体传感器
27
TP2(自动化技术及设备)
教育部科学技术研究重点项目204017
2006-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
1608-1609,1624