新型振动加速度传感器电压灵敏度研究

摘要：

本文对以钹式换能器作为敏感元件的新型振动加速度传感器电压灵敏度进行研究.钹式换能器具有很高的等效压电常数,这大大提高传感器的电压灵敏度.本文设计该传感器结构,研究该传感器的二阶模型以及钹式换能器的结构参数和预压力对该传感器电压灵敏度的影响.实验结果表明:钹式换能器的直径越大,电极越薄,传感器的电压灵敏度越高;传感器的电压灵敏度随着预压力的减小而增大,但是预压力过小又会降低传感器的机械谐振频率,从而减小传感器工作带宽.

关键词：振动、加速度传感器、钹式换能器、电压灵敏度、结构参数

所属期刊栏目：27

分类号：TP2(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60172008;北京市教委科技发展计划项目KZ200610772019

在线出版日期：2006-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：1605-1607