10.3321/j.issn:0254-3087.2006.z2.170
用于二维精密定位工作台的微位移机构设计
微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一.本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析.
微位移、柔性铰链、有限元方法、平行板
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TP3(计算技术、计算机技术)
国家重点基础研究发展计划973计划2003CB716201
2006-12-05(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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