硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计

摘要：

介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计.利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机.

关键词：陀螺、双端音叉谐振器、标度因数、结构优化

所属期刊栏目：27

分类号：V2(航空)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA812038

在线出版日期：2006-12-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1061-1062