微小球面曲率半径的测量研究

摘要：

验证了测量平面面形误差的重叠四步平均算法(OAF)应用于测量微小球面曲率半径的可行性.采用Linnik显微移相干涉装置,测量了光纤连接器端面的曲率半径,给出了测量数据及处理结果;通过对已知曲率半径的标准微小凸球面样板的测量,得到相对误差为0.093%.同时,从理论上对OAF和其他算法对PZT位移误差的抑制能力作了分析比较.结果表明,OAF算法可用于微小球面曲率半径的测量,且相对于其他算法而言,其对PZT位移误差具有更强的抑制能力.

关键词：显微干涉、移相干涉术、算法、曲率半径、光纤连接器

所属期刊栏目：27

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：南京理工大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1159-1162