键合技术在微机械Golay-cell红外探测器中的应用

摘要：

介绍多种硅片键合技术及其在基于高莱盒(Golay-cell)原理的微机械红外探测器中的应用.对多种键合方法在该器件中的实验结果进行比较,确定了现阶段最优的键合方法,即采用局部电场屏蔽方法的阳极键合方法,键合成功率在90%以上,并初步实现了器件的标准化制作.

关键词：微电子机械系统、高莱盒、红外探测器、键合

所属期刊栏目：27

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

资助基金：北京市教委科研项目KM 200310005009

在线出版日期：2006-09-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：936-939