10.3321/j.issn:0254-3087.2006.07.023
退火对牺牲层腐蚀前端形状和腐蚀速率的影响
从片子的生长工艺出发对腐蚀前端的形状进行了研究.提出了应力是产生腐蚀前端三角形的主要原因的推测,并通过退火实验验证了这一推测.在对退火处理影响腐蚀速率机制研究的基础上,得出了不同退火条件对腐蚀速率的影响规律.
退火、牺牲层、腐蚀形状、腐蚀速率
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TN304.12(半导体技术)
国家自然科学基金60476033;国家高技术研究发展计划863计划2003AA404012;2005AA404240
2006-08-29(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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