新型纳机电热探针阵列器件数据存储技术研究

摘要：

对自行研制的一种新型压阻敏感器和电阻加热器一体集成的纳机电热探针阵列传感器进行了存储特性研究.首先对器件电热特性和敏感特性进行测试,测试结果与模拟结果相吻合.在此基础上,进行数据存储测试,借助原子力学显微镜在聚合物有机薄膜上实现了数据写入,并研究了脉冲电压、脉冲宽度及其施加于探针上的力载荷对存储效果的影响,优化写入条件后,数据记录面密度达31.6GB/in2.

关键词：纳米针尖、集成探针阵列、存储特性、电阻加热器

所属期刊栏目：27

分类号：TP212.6(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金60376038;福建省自然科学基金A0310012;A0510011;福州大学校科研和教改项目2005-XQ-26;福建省教育厅资助项目JB04042;JB05068

在线出版日期：2006-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：693-697