一种新型纳米光栅传感器的理论研究

摘要：

为了开发结构简单,抗干扰能力强的纳米测量精度光栅传感器,对基于二次莫尔条纹信号的纳米测量精度光栅传感器的测量原理进行了理论分析,通过仿真计算,其测量分辨力可达到5.40×10-10m,测量精度可达到纳米级.此外,对指示光栅和标尺光栅不平行时对二次莫尔条纹信号质量的影响进行了理论分析和仿真计算.

关键词：纳米测量、二次莫尔条纹、光栅传感器、仿真

所属期刊栏目：27

分类号：TH753.6(仪器、仪表)

资助基金：国家自然科学基金50275047;安徽省教育厅自然科学基金2003kj004;安徽省重点实验室基金;安徽大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：159-164