基于谐波修正法的高精度时栅位移传感器

摘要：

在时栅位移传感器的研制开发过程中,为了用低精度的机械加工实现高精度的测量,提出了一种对传感器误差进行修正和补偿的方法--谐波修正法.该方法和FFT方法不同之处在于:它不是用于对测量结果事后的分析,而是用于传感器设计之前和制造之中.实践证明,此方法使用后使传感器精度得以大幅度提高,具有广泛的应用前景.

关键词：谐、波、修、正、时、栅、位移传感器

所属期刊栏目：27

分类号：TH741.2(仪器、仪表)

资助基金：中国科学院资助项目59675089;50075091;重庆市科委科研项目

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：31-33