四路激光跟踪柔性坐标测量系统的跟踪器设计

摘要：

激光跟踪器是激光跟踪坐标测量系统的关键部件.采用双电机驱动的单转镜结构,模拟式的PID与单片机的数字式PID相结合的闭环控制方案,设计了一种新型的激光跟踪器.该跟踪器具有跟踪快速、平稳,反射基点在跟踪过程中保持不动,跟踪精度高等优点,并成功的应用于四路激光跟踪柔性坐标测量系统.实验表明,激光跟踪测量系统的有效跟踪速度优于0.4m/s,综合测量精度1.2μm.

关键词：激光干涉仪、激光跟踪系统、坐标测量机、PID、光电位置检测器、单片机

所属期刊栏目：26

分类号：TP23(自动化技术及设备)

在线出版日期：2006-01-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1253-1256,1261