10.3321/j.issn:0254-3087.2005.10.026
MEMS三维动态测试系统的同步控制方法
为使MEMS(micro electro mechanical system)三维静动态测试自动可靠地进行,基于测试系统的测量原理及其精确同步控制要求,提出了相应的计算机同步控制方法.详细讨论了同步控制的设计实现及关键技术.通过对压力传感器膜和硅微陀螺仪的静动态测试,验证了同步控制的准确性和可靠性.
同步控制、微机电系统、动态测试、频、闪、相、移、相对延时
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TH113.2+2
国家高技术研究发展计划863计划2002AA404100
2005-11-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
1089-1092,1100