加权多步波长移相算法研究

摘要：

波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离.主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中.加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号.文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对.

关键词：波长移相干涉、加权多步波长移相算法、轮廓测量、厚度变化测量

所属期刊栏目：26

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

资助基金：上海市重点项目021411056

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：746-750