10.3321/j.issn:0254-3087.2005.07.021
加权多步波长移相算法研究
波长移相干涉技术通过改变光源的波长实现移相,可以克服硬件移相引入的误差,同时原理上可以实现多组干涉信号的分离.主要应用于大尺寸干涉仪及需要分离多表面干涉信号的系统中.加权多步波长移相算法是其主要的算法,中心思想是通过时域加入合适的窗函数,抑制寄生信号,提出包含轮廓或厚度信息的有用信号.文中介绍其设计思想,进行算法设计,并对一光学件进行了测试和比对.
波长移相干涉、加权多步波长移相算法、轮廓测量、厚度变化测量
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TH744.3(仪器、仪表)
上海市重点项目021411056
2005-08-18(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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