纳米精度外差式激光干涉仪非线性误差修正方法研究

摘要：

提出一种外差干涉非线性误差修正方法,采用混频技术将光频信号降低到通用数据采集系统频率响应范围内;采用高速数据采集板实现外差干涉测量信号和参考信号双通道同步实时采集;对采集数据进行光滑处理,滤除高阶非线性误差;解出位移量对应的相位差.试验结果表明,所提出的修正方法可以较好地修正双频激光干涉仪中存在的非线性误差,使外差干涉仪测量不确定度由原来的20nm降低到10nm.

关键词：外差干涉、非线性误差、误差修正、混、频

所属期刊栏目：26

分类号：TH741(仪器、仪表)

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：542-546