激光扫描声学显微镜图像信号的分析与处理

摘要：

激光扫描声学显微镜(Scanning Laser Acoustic Microscope,简称SLAM)是声显微技术的一种形式.作为一种无损检测仪,它对于研究新材料和新器件的内部结构问题特别有用.由于声图像的成像机理与光像不同,随机噪声、衍射条纹和声斑干扰了对获得声图像的分析,因此在传统SLAM系统的基础上,讨论了利用获得的被测样品声学幅度信息,针对声波传播、声光互作用、光路及解调这四个过程对信号的影响进行研究,提出了对声学幅度信号进行相位补偿和线性滤波,采用计算机数值运算,以提高图像质量的方法.给出了利用该方法的实验结果.

关键词：SLAM、信号分析、图像处理、数值运算

所属期刊栏目：26

分类号：O422.2(声学)

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：522-524,533