PZT铁电薄膜介电性能的数字锁相测试技术

摘要：

在DSP上实现的数字锁相测试系统,采用数字锁相算法来完成对信号的锁相测试.基于该系统开发出了简单、可靠、可调性好并具有较高精度的PZT铁电薄膜介电性能测试系统.实验表明,使用该系统测得的样品介电常数的相对误差小于1%,能够满足PZT铁电薄膜制备技术以及微机电系统中器件设计对薄膜性能测试的要求.

关键词：数字锁相测试、DSP PZT、铁电薄膜、MEMS

所属期刊栏目：26

分类号：TH871

资助基金：教育部"优秀青年教师资助计划";高等学校博士学科点专项科研项目

在线出版日期：2005-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：331-335,339