一、二阶释放模型在表面微机械中的应用

摘要：

随着硅表面微机械技术的发展,使得许多微机械器件的制作成为可能.通过对一、二阶释放腐蚀模型进行深入研究,详细分析了一、二阶混合释放腐蚀模型在微机械中几种基本牺牲层腐蚀结构中的应用,并对分析结果进行仿真计算和分析.

关键词：硅表面微机械、牺牲层释放腐蚀、一、二阶合腐蚀模型

所属期刊栏目：25

分类号：TH-39

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2003AA404012

在线出版日期：2005-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：91-94