点光源测头光束方向的标定

摘要：

指出在采用点光源测头测量物面测点坐标时,因光束方向相对于机床坐标系的安装偏角而引起的测量误差问题.提出了一种标定光束方向的方法.设计V形块做标定的靶标平面,通过在V形块随各坐标轴做等距移动时采样,实现了点光源测头光束方向的标定.给出了标定光束方向后的测点坐标计算方法.并设计了仿真程序验证了该方法的可行性.仿真结果表明,当测头精度为0.01mm,光栅尺对机床位移的检测精度为0.002mm时,光束方向的标定误差可以控制在0.1mrad的水平.

关键词：点光源测头、光束方向、标定

所属期刊栏目：25

分类号：TN2(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-07-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：388-391