基于SIMOX技术的高温压力传感器研制

摘要：

应用氧离子注入(Separation by Implantation of Oxygen)SIMOX技术,制作适合于高温环境条件下的固态压阻式硅隔离(SOI)压力敏感元件.采用了一种新型梁膜结合封装工艺,有效地解决了被测压力高温冲击问题,可应用于航空、航天发动机等恶劣环境下的压力测量.

关键词：氧离子注入、硅隔离、高、温

所属期刊栏目：25

分类号：TM93

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划101-01;国家高技术研究发展计划863计划2002AA404470

在线出版日期：2004-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：149-151