激光调阻机高精度可编程电压源的复频域分析

摘要：

论述了激光调阻机中用有源单臂电桥进行刻蚀电阻的原理,提出了在电阻测量时消除线电阻及其接触电阻的方法.在复频域对激光调阻机高精度可编程电压源电路进行了分析,得到消除线电阻及其接触电阻的结论,该方法对提高电阻测量精度,特别是提高低阻的测量精度有一定的参考价值.

关键词：激光、电阻、电桥、测量

所属期刊栏目：25

分类号：TN24(光电子技术、激光技术)

资助基金：中国科学院资助项目;教育部博士学科点基金

在线出版日期：2004-03-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：94-98